CN201110016438.5一种MEMS高精度激光发射器

发明名称：一种MEMS高精度激光发射器
申请号/专利号：CN201110016438.5
申请人：中国兵器装备研究院
发明人/设计人：李伟，刘嘉巍
公开号/公告号：CN106134496B
优先权号：
代理人：张东雁
PCT申请号：
PCT进入国家阶段日：
审查员：

申请日：2011.12.30
专利权人：中国兵器装备研究院
分类号： H01S3/086
公开日/公告日：2014.11.12
优先权日：
代理机构：中国船舶专利中心 11026
PCT申请日：
生物保藏信息：

摘要：本发明是一种MEMS高精度激光发射器，特别是涉及一种基于微机电系统 (MEMS)的高精度激光发射器，属于光电子技术领域。包括激光光源和主反射体，主反射体为球面的一部分，主反射体包括主反射体支撑板和主反射体镜面，其特征在于，在激光光源和主反射体之间有一个副反射体，副反射体呈球面一部分，主反射体镜面由多个MEMS变形反射镜组成，每个MEMS变形反射镜都与控制器连接，控制器控制每个MEMS变形反射镜的姿态。本发明的一种 MEMS高精度激光发射器包括两个镶嵌MEMS变形反射镜的反射体，MEMS 变形反射镜以及相应的控制器，既能保证良好的聚焦精度，又有效的对激光束波前进行校正，还可以实现激光束远场合成；本发明MEMS变形反射镜表面镀相应激光波长的反射膜，反射效率可达99.5％以上。

摘要附图：

如有对接意向，请电话垂询010-68918340

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12-20111001643852011100164385.pdf

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文章分类：国防解密专利

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